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凈化設(shè)備干貨

潔凈室設(shè)計(jì)的基本原則(潔凈室的重要性和必要性)

作者:深圳茗智凈化  發(fā)布時(shí)間:2023-07-05

  一提到潔凈室,很多人的印象可能都是一塵不染,管理嚴(yán)格的空間。那究竟什么是潔凈室?它的原理是什么呢?一起來(lái)了解一下吧~

  在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無(wú)菌規(guī)范的房間。由于制造業(yè)技術(shù)升級(jí)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)苛要求,潔凈實(shí)驗(yàn)室也被稱為“高端制造業(yè)的守護(hù)神”。

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  什么是潔凈室?

  典型的潔凈室

  潔凈室又可稱作無(wú)塵室(Cleanroom),通常用作專(zhuān)業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說(shuō),潔凈室有一個(gè)受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來(lái)規(guī)定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù),如溫度、濕度和壓力。

  在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無(wú)菌規(guī)范(即EU和PICS GMP指南附件1以及當(dāng)?shù)匦l(wèi)生當(dāng)局要求的其他標(biāo)準(zhǔn)和指南)中定義的GMP規(guī)范要求的房間,是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計(jì)、制造、完成和操作控制(控制策略)的組合。

  很多行業(yè)會(huì)使用無(wú)塵室,只要是小顆粒會(huì)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生不利影響的地方都會(huì)有潔凈室的身影。它們的尺寸和復(fù)雜度各不相同,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,制藥,生物技術(shù),醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè),以及航空航天,光學(xué),軍事和能源部中常見(jiàn)的關(guān)鍵工藝制造。

  潔凈室的發(fā)展歷程

  現(xiàn)代無(wú)塵室是由美國(guó)物理學(xué)家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的。惠特菲爾德作為桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的雇員,于1966年為無(wú)塵室設(shè)計(jì)了最初的設(shè)計(jì)方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前,早期的無(wú)塵室經(jīng)常遇到顆粒和不可預(yù)測(cè)的氣流的問(wèn)題。Whitfield設(shè)計(jì)的無(wú)塵室具有恒定的且經(jīng)過(guò)嚴(yán)格過(guò)濾的氣流來(lái)保持空間內(nèi)的潔凈。

  硅谷的大部分集成電路制造設(shè)施由三家公司制造:MicroAire,PureAire和Key Plastics。他們制造了層流裝置,手套箱,潔凈室和空氣淋浴器,以及用于集成電路“濕法工藝”建造的化學(xué)罐和工作臺(tái)。這三家公司也是將特氟龍用于氣槍?zhuān)瘜W(xué)泵,洗滌器,水槍和其他集成電路生產(chǎn)所需設(shè)備的先驅(qū)。William(Bill)C.McElroy Jr.曾擔(dān)任三家公司的工程經(jīng)理,制圖室主管,QAQC和設(shè)計(jì)師,他的設(shè)計(jì)為當(dāng)時(shí)的技術(shù)增加了45項(xiàng)原始專(zhuān)利。

  潔凈室氣流原理

  潔凈室通過(guò)使用HEPA(High Efficiency Particulate Air filter)或ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)過(guò)濾器,采用層流(單向流Laminar flow)或湍流(Swift current亂流,非單向流)氣流原理,來(lái)控制空氣中的顆粒。層流或單向氣流系統(tǒng)將過(guò)濾的空氣以恒定的流向下或水平方向引導(dǎo)到位于潔凈室地板附近墻壁上的過(guò)濾器,或通過(guò)凸起的穿孔地板進(jìn)行再循環(huán)。層流空氣流動(dòng)系統(tǒng)通常在潔凈室天花板的80%上使用,以保持恒定的空氣。不銹鋼或其他非脫落材料用于構(gòu)造層流空氣流動(dòng)過(guò)濾器和罩,以防止多余的顆粒進(jìn)入空氣。

  湍流,或非單向空氣流動(dòng)使用層流空氣流動(dòng)罩和非特定速度過(guò)濾器來(lái)保持潔凈室中的空氣在恒定的運(yùn)動(dòng),盡管不是所有的方向相同。粗糙的空氣試圖捕獲可能存在于空氣中的顆粒,并將它們驅(qū)趕到地板上,在地板上它們進(jìn)入過(guò)濾器并離開(kāi)潔凈室環(huán)境。

  有的地方也會(huì)增加矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),采用扇形高效過(guò)濾器,也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級(jí)(100級(jí))潔凈度。

  “層流(也叫單向流)潔凈室”的氣流模式

  “湍流(亂流,非單向流)潔凈室”的氣流模式

  潔凈的房間需要大量的空氣,并且通常在一個(gè)可控的溫度和濕度下。為了減少改變環(huán)境溫度或濕度的費(fèi)用,大約80%的空氣會(huì)再循環(huán)(如果產(chǎn)品特性允許),循環(huán)的氣體會(huì)先通過(guò)過(guò)濾系統(tǒng)去除微粒污染,同時(shí)保持合適溫度和濕度,在通過(guò)潔凈室。空氣中的微粒(污染物)要么漂浮在周?chē)4蠖鄶?shù)空氣中的微粒會(huì)慢慢沉降,沉降速率取決于它們的大小。一個(gè)設(shè)計(jì)良好的空氣處理系統(tǒng)應(yīng)該將新鮮的和再循環(huán)的過(guò)濾后的潔凈空氣一起輸送到潔凈室中,在一起把顆粒從潔凈室?guī)ё摺8鶕?jù)操作對(duì)象的不同,從室內(nèi)取出的空氣通常通過(guò)空氣處理系統(tǒng)再循環(huán),在空氣處理系統(tǒng)中過(guò)濾器去除微粒。如果工藝、原料或產(chǎn)品含有大量水分、有害蒸汽或氣體就不能再循環(huán)回至室內(nèi)了,這種空氣通常被排出到大氣中,然后100%的新鮮空氣被吸到潔凈室系統(tǒng)中,處理后到潔凈室內(nèi)。

  進(jìn)入潔凈室的空氣量是嚴(yán)格控制的,被排出的空氣量也是嚴(yán)格控制的。大多數(shù)潔凈室是加壓運(yùn)行的,通過(guò)將比從潔凈室排出的空氣供應(yīng)量更高的空氣供應(yīng)量進(jìn)入潔凈室來(lái)實(shí)現(xiàn)的。較高的壓力會(huì)導(dǎo)致空氣從門(mén)下或通過(guò)任何潔凈室不可避免的微小裂縫或縫隙泄漏出去。

  良好的潔凈室設(shè)計(jì)的關(guān)鍵是空氣引入(供給)和排出(排氣)的適當(dāng)位置。在布置潔凈室時(shí),應(yīng)優(yōu)先考慮送風(fēng)和排風(fēng)(回風(fēng))格柵的位置。進(jìn)口(天花板)和回風(fēng)格柵(在較低的位置)應(yīng)位于潔凈室的相對(duì)側(cè)。如果需要保護(hù)操作員不受產(chǎn)品的影響,則風(fēng)流應(yīng)遠(yuǎn)離操作員。

  美國(guó)FDA和歐盟為微生物污染制定了非常嚴(yán)格的指導(dǎo)方針和限值,也可以使用空氣處理器和風(fēng)扇過(guò)濾單元之間的增壓室以及粘性墊。對(duì)于需要A級(jí)空氣的無(wú)菌室,氣流是從上到下的,并且是單向的或?qū)恿鞯模WC空氣在接觸產(chǎn)品之前未受到污染。

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